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自動晶圓撕膜機_SINTAIKE手動貼膜STK-5150

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商家資料
 

自動晶圓撕膜機_SINTAIKE手動貼膜STK-5150



自動晶圓撕膜機_SINTAIKE手動貼膜STK-5150規(guī)格:

晶圓尺寸: 8” &12”晶圓;

厚度:150 ~ 750微米;

晶圓種類:硅、砷化鎵;平邊或V型缺口晶圓;

撕膠膜種類:撕膜膠帶;

寬度:100~150毫米;

長度:100米;

撕膜角度:<45度,并且在 5°~45°可調(diào)節(jié);

撕膜溫度:室溫到100 ℃范圍可調(diào),控溫精度+/-3℃;

晶圓臺盤:通用防靜電特氟龍涂層接觸式金屬臺盤;

                帶可控加熱功能,溫度MAX可達(dá)100℃;

                臺盤帶吸真空功能;

裝卸方式:晶圓手動放置與取出;

防靜電控制:離子風(fēng)扇;

晶圓定位:彈簧銷釘定位;

控制單元:基于PLC 控制,并配有5.7”觸摸屏;

驅(qū)動單元:伺服馬達(dá)驅(qū)動;

安全保護(hù):配置緊急停機按鈕;

電源電壓:單相交流電220V,10A;

壓縮空氣:5公斤清潔干燥壓縮空氣,流量每分鐘80升/分鐘;

機器外殼:白色噴塑金屬外殼;

機器指示:三色燈塔顯示機臺工作狀態(tài);

體積:950毫米(寬)x1500毫米(深)x1800毫米(高);

凈重:300公斤;



自動晶圓撕膜機性能:

晶圓收益:≥99.9%;

撕膜質(zhì)量:無裂片;

每小時產(chǎn)能:≥ 80片晶圓;

更換產(chǎn)品時間:≤ 5分鐘;



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