隨著半導體技術的發展，產品性能的不斷提高和改善，對半導體的表面質量要求越來越嚴格，迫使行業內的清洗裝置也在逐步的改善。現有的半導體清洗花籃，將半導體晶片放置在清洗花籃中，通常為保證半導體晶片能充分接觸清洗液，清洗花籃的槽齒與外界都是連通的，槽齒之間無加強筋等，強度較低，易破碎，而且現有清洗花籃的結構使得清洗空間的通風性不好，清洗液的流動也不好。

PFA花籃 / 清洗花藍 / 鐵氟龍卡匣 / 鐵氟龍晶舟盒 / 鐵氟龍晶圓盒 為 為承載半導體晶圓片/硅片的容器，可依照客戶需求設計，全氟烷氧基材質有優良的化學穩定性，耐高溫200~220℃、耐酸耐堿耐腐蝕(強酸、強氟酸、強堿)，主要用于半導體蝕刻部門之酸堿制程中使用、傳送晶圓。