半導(dǎo)體后端工藝制程中需要使用到例如 Ar, O2 或是其他特殊氣體,氣體管路系統(tǒng)(真空管路)的作用是把各種氣體在滿足工藝制程要求的純度, 壓力和流量的前提下安全穩(wěn)定的供應(yīng)到工藝設(shè)備內(nèi). 上海伯東美國 HVA 插板閥廣泛用于高真空或超高真空的氣體輸送環(huán)節(jié), 用來改變氣流方向, 調(diào)節(jié)氣流量大小, 切斷或接通管路, 起到真空隔離密封等作用. 美國 HVA 6寸, 8寸 真空插板閥已廣泛應(yīng)用于半導(dǎo)體氣體管路中!

為什么選擇伯東？

伯東公司成立于1953 年，超過65年歷史。

上海伯東所有產(chǎn)品保證100%原裝進(jìn)口，擁有強(qiáng)大售后服務(wù)團(tuán)隊(duì)，擁有完全的拆解，維修，校正能力并提供24小時(shí)在線服務(wù)。

上海伯東是美國 HVA 插板閥在中國地區(qū)唯一指定總代理商.

上海伯東美國 HVA 插板閥優(yōu)勢(shì)：

1. 滿足高真空（1E10^-9  mabr）和超高真空（1E10^-10 mbar）應(yīng)用；

2. HVA 閘閥口徑 DN 16 至 800 mm；

3. 堅(jiān)固耐用，超長使用壽命，可達(dá)1,000,000 啟動(dòng)次數(shù)；

4. 清潔和高密封性保證 HVA 進(jìn)口閥門與低溫泵、渦輪分子泵，離子泵等完美聯(lián)用；

5. 雙向密封,最小漏率 < 2x10^-9  mbar l/S；

6. 可選擇驅(qū)動(dòng)方式多，手, 氣, 電動(dòng)可選；

7. 有效保護(hù)分子泵。氣動(dòng)和電動(dòng)均帶信號(hào)反饋裝置, 與分子泵和腔體連用時(shí)可以起到截?cái)嘁恍┨厥鈿怏w, 保護(hù)分子泵的作用；

8. 標(biāo)準(zhǔn)或定制法蘭滿足不同應(yīng)用；

9. 國際標(biāo)準(zhǔn)，全部美國設(shè)計(jì), 制造, 組裝, 原裝進(jìn)口。

美國 HVA 超過40年的閥門研發(fā)生產(chǎn)經(jīng)驗(yàn),與友廠對(duì)比,HVA 閘閥閥體和部件均是在真空爐中一體釬焊完成, 消除了虛漏的可能.

 

在售產(chǎn)品：

1. HVA 真空閘閥, 真空插板閥 11000 系列

2. HVA 真空閘閥, 真空插板閥 21200 系列

3. HVA 真空閘閥, 真空插板閥 81000 系列

4. HVA 鋁制真空閘閥, 真空插板閥 83000 系列

5. HVA 三位真空閘閥, 真空插板閥 21700 系列

6. HVA 真空閘閥, 真空插板閥 71000 系列

7. HVA 真空隔離閘閥 16000 系列

8. HVA 真空層流閘閥 13000系列

9. HVA 真空閘閥 72000 系列

10. HVA 真空角閥 4000系列

11. HVA 半矩形真空閘閥 28200系列

12. HVA 閉合回路閘閥 21800系列

13. HVA 矩形板閥 28200＆88200 系列

14. HVA 真空閘閥 31200 系列

若您需要進(jìn)一步的了解詳細(xì)信息或討論, 請(qǐng)參考以下聯(lián)絡(luò)方式：
上海伯東是德國 Pfeiffer 真空設(shè)備, 美國 KRI 考夫曼離子源, 美國 inTEST 高低溫沖擊測試機(jī), 美國 Ambrell 感應(yīng)加熱設(shè)備和日本 NS 離子蝕刻機(jī)等進(jìn)口知名品牌的指定代理商 .我們真誠期待與您的合作！

上海伯東: 羅小姐                                   臺(tái)灣伯東: 王小姐
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